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半导体芯片制造技术

  • 作者: 杜中一主编
  • 出版社:电子工业出版社
  • 出版日期:2012年03月
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内容简介

本书全面系统地介绍了半导体芯片制造技术,内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻与刻蚀、掺杂以及封装。由于目前光电产业的不断发展,对于化合物半导体的使用越来越多,本书以半导体硅材料芯片制造为主,兼顾化合物半导体材料芯片制造。

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