半导体薄膜技术基础
- 作者：
李晓干，刘勐，王奇编著
- 出版社：电子工业出版社
- 出版日期：2018年01月
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内容简介
本书主要内容包括：(1)初步掌握半导体薄膜器件的基本工艺，特别是与集成电路器件工艺过程相关知识。(2)硅基半导体衬底晶体材料的生长技术。(3)各种半导体薄膜材料常用的制备技术，如：物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、分子束外延(MBE)、液相外延(LPE)、各种溅射沉积技术等，需要重点掌握这些制备技术的特点、工作原理和工艺过程，以及在薄膜生长过程中的热力学、动力学知识等，(4)了解和掌握各种半导体薄膜微观结构的表征技术。
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